Chinesischer DUV-Scanner: Erneuter angeblicher Durchbruch und „ASML am Ende“

Auch in diesem Jahr soll es ein DUV-Belichtungssystem aus China geschafft haben, welches dort das Ende von ASML einläuten soll. Ob das wirklich der Fall ist, lässt sich wie in der Vergangenheit nicht wirklich sagen. Denn ähnliche „Erfolgsmeldungen“ gab es auch schon 2024 und 2025. ASMLs Aktie stand trotzdem sofort unter Druck. Zwischenzeitlich über acht Prozent im Minus fiel das Papier von ASML aufgrund der Gerüchte, die The Information zuvor verbreitet hatte. Deren Trefferquote bei Halbleitermeldungen ist zuletzt eher weniger gut, aber den derzeit hochnervösen Anlegern im IT-Aktiengeschäft hat schon der kleinste Funke gereicht, um den nächsten Ausverkauf zu starten. Chinesisches DUV-System ab 2027 im Einsatz? Die Faktenlage ist dabei jedoch einmal mehr überaus dünn, da auch der Report keine direkten Quellen angibt. Ein bisher eher unbekanntes Unternehmen aus Shanghai, Aishengna, soll einen DUV-Scanner entwickelt haben, der die Serienreife erlange. Er ist primär für den 28-nm-Chip ausgelegt, mit Multi-Patterning (Mehrfachbelichtung) eignen sich solche Systeme aber auch hinab bis zu einer vergleichbaren 7/5-nm-Fertigung. Gänzlich heimisch ist das System aber wohl nicht, es verlässt sich angeblich auf einige Teile aus Japan und Know-how auch von SMEE, SiCarrier und anderen chinesischen Firmen, die bereits länger in dem Bereich arbeiten. Aishengna und Yuliangsheng teilen sich in Shanghai dabei wohl eine Adresse – Yuliangsheng hatte im letzten September bereits einen Durchbruch bei DUV vermeldet. Fünf Systeme sollen dieses Jahr gefertigt werden, 20 im kommenden Jahr – doch Zweifel an diesen Zahlen gibt es bereits, es könnten auch mehr werden. Die Maschinen bedürfen aber noch weiterer Optimierungen insbesondere hinsichtlich Leistung und Haltbarkeit, was nun angegangen werden soll. Zur Kundschaft sollen die bekannten Firmen in China in diesem Bereich wie CXMT, SMIC, Hua Hong sowie deren Partner zählen. Einmal mehr übertriebene Untergangsmeldungen Untergangsmeldungen von ASML, wie nun wieder in einigen Medien verbreitet, sind am Ende natürlich wieder völlig übertrieben. Nicht nur kommen diese Meldungen mindestens einmal im Jahr auf, viel wichtiger aber ist, dass bisher immer viel weniger an den Gerüchten dran war, als auf den ersten Blick sichtbar und im Nachgang dann auch vorhanden war. Im Jahr 2023 war es Canons Nanoimprint Lithografie (NIL), die die Anleger erschreckte – seitdem ist es eher ruhig geworden und ein Konkurrent ist es mitnichten. Chinesische DUV-Scanner tauchen seit 2024 regelmäßig in Gerüchten auf – deshalb auch gleich noch einmal im Herbst 2025 – auch hier ist ein Durchbruch aber noch nicht erkennbar. Zuletzt war sogar eher das Gegenteil der Fall, chinesische Hersteller hatten den DUV-Markt rund um ASML-Geräte leergekauft und für künftige Expansion zunächst eingelagert. Irgendwann werden sie direkt in China einen Scanner haben, da sind sich alle einig. Doch Fragen nach dem Wie, dem Wann, dem Umfang und viele andere Dinge bleiben bis dahin im Dunkeln. Denn mit einer DUV-Maschine allein ist es bekanntlich auch nicht getan, der Rest muss darauf abgestimmt sein.