Chipausrüster: Europas weltweit komplexeste Maschine ist fast zu gut

München. „Sehr, sehr teuer“, lautet das Urteil von TSMC-Manager Kevin Zhang über die neueste Anlage von ASML. Der größte Auftragsfertiger der Chipindustrie werde die Maschine, die mehrere Hundert Millionen Euro kostet, daher auf absehbare Zeit nicht nutzen, sagte der stellvertretende Co-Chief Operating Officer unlängst im Vorfeld der jährlichen Tech-Konferenz von TSMC. Dabei haben das niederländische Unternehmen ASML und der deutsche Schlüssellieferant Zeiss jahrelang an der wegweisenden High-NA-EUV-Technologie gearbeitet. Diese ermöglicht es, extrem kurzwelliges Licht in einem Vakuum über hochpräzise Spiegel zu lenken und so Strukturen im einstelligen Nanometerbereich auf Siliziumscheiben zu drucken. Es sei die weltweit modernste, komplexeste und präziseste Maschine zur Mikrochipfertigung, sagte der ehemalige Zeiss-Chef Karl Lamprecht einmal. Daher stellt sich die Frage: Haben ASML und Partner Zeiss am Bedarf vorbei entwickelt? Schließlich hat ASML im vergangenen Jahr knapp ein Viertel seines Umsatzes mit dem mit Abstand wichtigsten Halbleiterproduzenten der Welt aus Taiwan erzielt.